Одоогийн байдлаар IC үйлдвэрлэлд шаардлагатай бараг бүх дээд зэрэглэлийн хэт өндөр цэвэр металл зэсийн зорилтот гадаадын хэд хэдэн томоохон үндэстэн дамнасан компаниуд монопольчлогдсон байна.Дотоодын IC үйлдвэрлэлд шаардлагатай бүх хэт цэвэр зэсийг импортлох шаардлагатай бөгөөд энэ нь зөвхөн өндөр өртөгтэй төдийгүй импортын журамд төвөгтэй байдаг тул Хятад улс хэт өндөр цэвэршилттэй (6N) зэс цацах зорилтот боловсруулалт, баталгаажуулалтыг яаралтай сайжруулах шаардлагатай байна. .Хэт өндөр цэвэршилттэй (6N) зэс цацах зорилтуудыг боловсруулахад тулгарч буй гол цэгүүд болон бэрхшээлүүдийг авч үзье.
1、Хэт өндөр цэвэршилттэй материалыг боловсруулах
Хятадад өндөр цэвэршилттэй Cu, Al, Ta металлыг цэвэршүүлэх технологи нь аж үйлдвэр хөгжсөн орнуудынхаас хол байдаг.Одоогийн байдлаар нийлүүлэх боломжтой өндөр цэвэршилттэй металлын ихэнх нь үйлдвэрлэлийн бүх элементийн шинжилгээний уламжлалт аргуудын дагуу цацах зорилтот нэгдсэн хэлхээний чанарын шаардлагыг хангаж чадахгүй байна.Зорилтот зорилтод оруулах тоо хэт их буюу жигд бус тархсан байна.Цацруулах явцад вафель дээр бөөмс үүсдэг бөгөөд үүний үр дүнд богино холболт эсвэл харилцан холболтын нээлттэй хэлхээ үүсдэг бөгөөд энэ нь хальсны гүйцэтгэлд ноцтой нөлөөлдөг.
2、Зэс цацах зорилтот бэлтгэх технологийг хөгжүүлэх
Зэс цацах зорилтот бэлтгэх технологийг хөгжүүлэх нь үр тарианы хэмжээ, чиг баримжаа хяналт, жигд байдал гэсэн гурван тал дээр голчлон анхаардаг.Хагас дамжуулагчийн үйлдвэр нь шүрших объект болон түүхий эдийг ууршуулахад хамгийн өндөр шаардлага тавьдаг.Энэ нь гадаргуугийн ширхэгийн хэмжээ, зорилтот талст чиглэлийг хянахад маш хатуу шаардлага тавьдаг.Зорилтот үр тарианы хэмжээг 100-д хянах ёстойμ Иймээс доор байгаа M, үр тарианы хэмжээг хянах, корреляцийн шинжилгээ, илрүүлэх хэрэгсэл нь металлын зорилтуудыг боловсруулахад маш чухал юм.
3、Шинжилгээний хөгжил батуршилт технологи
Зорилтот өндөр цэвэршилт нь хольцыг багасгана гэсэн үг юм.Өмнө нь бохирдлыг тодорхойлоход индуктив хосолсон плазм (ICP) болон атом шингээлтийн спектрометрийг ашигладаг байсан бол сүүлийн жилүүдэд илүү өндөр мэдрэмжтэй гэрэлтэлтийн чанарын шинжилгээг (GDMS) аажмаар стандарт болгон ашиглаж байна. арга.Үлдэгдэл эсэргүүцлийн харьцаа RRR аргыг цахилгааны цэвэршилтийг тодорхойлоход голчлон ашигладаг.Түүний тодорхойлох зарчим нь хольцын электрон тархалтын түвшинг хэмжих замаар үндсэн металлын цэвэр байдлыг үнэлэх явдал юм.Энэ нь өрөөний температур, маш бага температурт эсэргүүцлийг хэмжихэд зориулагдсан тул тоог авахад хялбар байдаг.Сүүлийн жилүүдэд металлын мөн чанарыг судлахын тулд хэт өндөр цэвэршилтийн судалгаа маш идэвхтэй явагдаж байна.Энэ тохиолдолд RRR утга нь цэвэр байдлыг үнэлэх хамгийн сайн арга юм.
Шуудангийн цаг: 2022 оны 5-р сарын 06-ны хооронд