Бидний мэдэж байгаагаар вакуум ууршилт, ион цацах аргыг вакуум бүрэх ажилд ихэвчлэн ашигладаг.Ууршуулах бүрэх болон цацах бүрэх хоёрын ялгаа юу вэ?Дараа нь RSM-ийн техникийн мэргэжилтнүүд бидэнтэй хуваалцах болно.
Вакуум ууршуулах бүрэх нь 10-2Па-аас багагүй вакуум зэрэгтэй орчинд эсэргүүцэх халаалт буюу электрон цацраг, лазерын бөмбөгдөлтөөр ууршуулах материалыг тодорхой температурт халааж, молекулуудын дулааны чичиргээний энерги эсвэл Материал дахь атомууд нь гадаргуугийн холболтын энергийг давсан тул олон тооны молекулууд эсвэл атомууд уурших буюу сублимацияж, субстрат дээр шууд тунадасжиж, хальс үүсгэдэг.Ион цацах бүрхүүл нь цахилгаан орны нөлөөн дор хийн ялгаралтаас үүссэн эерэг ионуудын өндөр хурдтай хөдөлгөөнийг ашиглан байг катод болгон бөмбөгддөг бөгөөд ингэснээр бай дахь атомууд эсвэл молекулууд зугтаж, бүрсэн ажлын хэсгийн гадаргуу дээр тунадас үүсгэдэг. шаардлагатай кино.
Вакуум ууршуулах бүрхүүлийн хамгийн түгээмэл хэрэглэгддэг арга бол эсэргүүцэлтэй халаалт бөгөөд энэ нь энгийн бүтэцтэй, хямд өртөгтэй, тохиромжтой ажиллагаатай давуу талтай;Сул тал нь галд тэсвэртэй металл, өндөр температурт тэсвэртэй диэлектрик материалд тохиромжгүй байдаг.Электрон цацраг халаалт, лазераар халаах нь эсэргүүцлийн халаалтын дутагдлыг даван туулж чадна.Электрон цацрагаар халаахад төвлөрсөн электрон цацрагийг бөмбөгдсөн материалыг шууд халаахад ашигладаг бөгөөд электрон цацрагийн кинетик энерги нь дулааны энерги болж, материалыг ууршуулдаг.Лазер халаалт нь өндөр чадлын лазерыг халаах эх үүсвэр болгон ашигладаг боловч өндөр хүчин чадалтай лазерын өртөг өндөр учраас одоогоор зөвхөн цөөн тооны судалгааны лабораторид ашиглах боломжтой.
Шүрших технологи нь вакуум ууршуулах технологиос ялгаатай.Цэнэглэсэн тоосонцор хатуу гадаргууг (онилтот) бөмбөгдөж, гадаргуугаас хатуу атомууд эсвэл молекулуудыг харвах үзэгдлийг "Цэврэх" гэж хэлдэг.Ялгарсан бөөмсийн ихэнх нь атомын төлөвт байдаг бөгөөд үүнийг ихэвчлэн цацруулсан атом гэж нэрлэдэг.Зорилтот объектыг бөмбөгдөхөд ашигладаг цацагдсан тоосонцор нь электрон, ион эсвэл төвийг сахисан хэсгүүд байж болно.Шаардлагатай кинетик энергийг олж авахын тулд цахилгаан талбайн дор ионууд хурдасгахад хялбар байдаг тул тэдгээрийн ихэнх нь ионуудыг бөмбөгдсөн бөөмс болгон ашигладаг.Шүрших үйл явц нь гялалзсан ялгадас дээр суурилдаг, өөрөөр хэлбэл цацах ионууд нь хийн ялгаралтаас үүсдэг.Янз бүрийн цацах технологи нь өөр өөр гэрэл ялгаруулах горимыг ашигладаг.DC диод цацах нь тогтмол гүйдлийн гэрэлтүүлгийн ялгадасыг ашигладаг;Triode sputtering нь халуун катодоор дэмжигдсэн гэрэлтэх ялгадас юм;RF цацах нь RF-ийн гэрэлтэх ялгадасыг ашигладаг;Магнетрон цацах нь цагираг хэлбэртэй соронзон орны удирддаг гэрэлтэх цэнэг юм.
Вакуум ууршуулах бүрээстэй харьцуулахад шүршигч бүрэх нь олон давуу талтай.Жишээлбэл, аливаа бодис, ялангуяа хайлах температур өндөр, уурын даралт багатай элемент, нэгдлүүд цацагдаж болно;Цайрсан хальс ба субстрат хоорондын наалдац сайн;Киноны өндөр нягтрал;Киноны зузааныг хянах боломжтой, давтагдах чадвар сайн.Сул тал нь тоног төхөөрөмж нь нарийн төвөгтэй бөгөөд өндөр хүчдэлийн төхөөрөмж шаарддаг.
Үүнээс гадна ууршуулах арга ба шүрших аргыг хослуулсан нь ион бүрэх юм.Энэ аргын давуу тал нь олж авсан хальс нь субстраттай хүчтэй наалддаг, тунадасны өндөр хурдтай, өндөр нягтралтай байдаг.
Шуудангийн цаг: 2022 оны 7-р сарын 20