Бидний мэдэж байгаагаар вакуум бүрхүүлд түгээмэл хэрэглэгддэг аргууд бол вакуум транспираци ба ион цацах явдал юм.Транспирацийн бүрээс болон цацруулагч бүрхүүлийн хооронд ямар ялгаа байдаг вэ Олонхүмүүс ийм асуулт байна.Транспирацийн бүрээс болон шүршигч бүрээсийн ялгааг та бүхэнтэй хуваалцъя
Вакуум транспирацийн хальс гэдэг нь 10-2Па-аас багагүй вакуум зэрэгтэй орчинд эсэргүүцлийн халаалт эсвэл электрон цацраг, лазерын тусламжтайгаар дамжуулагдах өгөгдлийг тогтмол температурт халааж, молекулуудын дулааны чичиргээний энерги эсвэл Өгөгдөл дэх атомууд нь гадаргуугийн холболтын энергиээс давсан тул олон молекулууд эсвэл атомууд шилжиж, нэмэгдэж, тэдгээрийг субстрат дээр шууд байрлуулж, хальс үүсгэдэг.Ион цацах бүрхүүл нь цахилгаан талбайн нөлөөн дор хийн ялгаралтаас үүссэн эерэг ионуудын өндөр эсэргүүцлийн хөдөлгөөнийг ашиглан байг катод болгон бөмбөгддөг бөгөөд ингэснээр бай дахь атомууд эсвэл молекулууд зугтаж, бүрсэн ажлын хэсгийн гадаргуу дээр хуримтлагддаг. шаардлагатай кино.
Вакуум транспирацийн бүрэх хамгийн түгээмэл хэрэглэгддэг арга бол эсэргүүцлийн халаалтын арга юм.Үүний давуу тал нь халаалтын эх үүсвэрийн энгийн бүтэц, хямд өртөг, тохиромжтой ажиллагаа юм.Үүний сул тал нь галд тэсвэртэй металл, өндөр температурт тэсвэртэй орчинд тохиромжгүй байдаг.Электрон цацраг халаалт, лазераар халаах нь эсэргүүцлийн халаалтын сул талыг даван туулж чадна.Электрон цацрагаар халаахад фокуслагдсан электрон цацрагийг бүрхүүлтэй өгөгдлийг шууд халаахад ашигладаг бөгөөд электрон цацрагийн кинетик энерги нь дулааны энерги болж өгөгдлийг дамжуулдаг.Лазер халаалт нь өндөр чадлын лазерыг халаалтын эх үүсвэр болгон ашигладаг боловч өндөр хүчин чадалтай лазерын өртөг өндөр байдаг тул үүнийг зөвхөн цөөн тооны судалгааны лабораторид ашиглах боломжтой.
Шүрших ур чадвар нь вакуум дамжуулалтаас ялгаатай.Цэнэглэсэн тоосонцор нь биеийн гадаргуу (зорилтот) руу буцаж бөмбөгдөж, гадаргуугаас хатуу атомууд эсвэл молекулууд ялгардаг үзэгдлийг шүрших явдал юм.Ялгарсан бөөмсийн ихэнх нь атомын шинж чанартай байдаг бөгөөд үүнийг ихэвчлэн цацруулсан атом гэж нэрлэдэг.Зорилтот объектыг устгахад ашигладаг цацагдсан тоосонцор нь электрон, ион эсвэл төвийг сахисан хэсгүүд байж болно.Цахилгаан талбайн дор ионууд шаардлагатай кинетик энергийг олж авахад хялбар байдаг тул ионуудыг ихэвчлэн бүрхүүлийн бөөмс болгон сонгодог.
Шүрших үйл явц нь гэрэлтэх ялгадас дээр суурилдаг, өөрөөр хэлбэл цацах ионууд нь хийн ялгаралтаас үүсдэг.Янз бүрийн шүрших ур чадвар нь өөр өөр гэрэл ялгаруулах аргуудтай байдаг.DC диод цацах нь тогтмол гүйдлийн гэрэлтүүлгийн ялгадасыг ашигладаг;Triode sputtering нь халуун катодоор дэмжигдсэн гэрэлтэх ялгадас юм;RF цацах нь RF-ийн гэрэлтэх ялгадасыг ашигладаг;Магнетрон цацах нь цагираг хэлбэртэй соронзон орны удирддаг гэрэлтэх цэнэг юм.
Вакуум транспирацийн бүрээстэй харьцуулахад шүршигч бүрэх нь олон давуу талтай.Хэрэв ямар нэгэн бодис, ялангуяа хайлах температур өндөр, уурын даралт багатай элемент ба нэгдлүүд цацагдаж байвал;Цайрсан хальс ба субстрат хоорондын наалдац сайн;Киноны өндөр нягтрал;Киноны зузааныг хянах боломжтой, давтагдах чадвар сайн.Сул тал нь тоног төхөөрөмж нь нарийн төвөгтэй бөгөөд өндөр хүчдэлийн төхөөрөмж шаарддаг.
Үүнээс гадна транспирацийн арга ба шүрших аргыг хослуулсан нь ион бүрэх юм.Энэ аргын давуу тал нь хальс ба субстратын хооронд хүчтэй наалдамхай, өндөр тунадасжилтын хурд, хальсны өндөр нягтрал юм.
Шуудангийн цаг: 2022 оны 5-р сарын 09-ний өдөр