Бид одоо зорилтот талаар маш сайн мэддэг байх ёстой, одоо зорилтот зах зээл нэмэгдэж байна, RSM-ийн редакторын хуваалцсан цацах зорилтын гол гүйцэтгэл юу вэ?
цэвэр ариун байдал
Зорилтот материалын цэвэр байдал нь гүйцэтгэлийн гол үзүүлэлтүүдийн нэг юм, учир нь зорилтот материалын цэвэр байдал нь нимгэн хальсны гүйцэтгэлд ихээхэн нөлөөлдөг.Гэсэн хэдий ч практик хэрэглээний хувьд зорилтот материалын цэвэр байдлын шаардлага ижил биш байна.Жишээлбэл, микроэлектроникийн салбар хурдацтай хөгжихийн хэрээр цахиурын чипийн хэмжээ 6 ", 8"-аас 12" болж, утаснуудын өргөн нь 0.5um-аас 0.25um,0.18um, бүр 0.13um хүртэл буурчээ.Өмнө нь 99.995% зорилтот материалын цэвэр байдал нь 0.35umIC-ийн процессын шаардлагыг хангаж чадна.Зорилтот материалын цэвэршилт нь 0.18um шугам бэлтгэхэд 99.999% эсвэл бүр 99.9999% байдаг.
Бохирдлын агууламж
Зорилтот хатуу бодис дахь хольц, нүх сүв дэх хүчилтөрөгч, усны уур нь хальсан бүрхүүлийн бохирдлын гол эх үүсвэр юм.Янз бүрийн зориулалт бүхий зорилтот материалууд нь янз бүрийн хольцын агуулгад өөр өөр шаардлага тавьдаг.Жишээлбэл, хагас дамжуулагчийн үйлдвэрлэлд ашигладаг цэвэр хөнгөн цагаан, хөнгөн цагаан хайлш нь шүлтлэг металл, цацраг идэвхт элементийн агууламжийн хувьд тусгай шаардлага тавьдаг.
нягтрал
Зорилтот хатуу бодисын сүвэрхэг чанарыг бууруулж, шүрших хальсны гүйцэтгэлийг сайжруулахын тулд ихэвчлэн өндөр нягтралтай байх шаардлагатай.Зорилтот нягт нь зөвхөн цацрах хурдаас гадна хальсны цахилгаан болон оптик шинж чанарт нөлөөлдөг.Зорилтот нягтрал их байх тусам киноны гүйцэтгэл сайн болно.Нэмж дурдахад, зорилтот объектын нягтрал, хүч чадлыг нэмэгдүүлэх нь шүрших үйл явц дахь дулааны стрессийг илүү сайн тэсвэрлэдэг.Нягт нь мөн зорилтот гүйцэтгэлийн гол үзүүлэлтүүдийн нэг юм.
Тарианы хэмжээ ба үр тарианы тархалт
Зорилтот нь ихэвчлэн микрометрээс миллиметр хүртэл хэмжээтэй мөхлөгийн хэмжээ бүхий поликристалл юм.Ижил зорилтын хувьд жижиг үр тариа бүхий байны шүрших хурд нь том ширхэгтэй байтай харьцуулахад илүү хурдан байдаг.Үр тарианы хэмжээ багатай (нэгдмэл тархалт) шүрших замаар хуримтлагдсан хальсны зузаанын тархалт илүү жигд байна.
Шуудангийн цаг: 2022 оны 8-р сарын 04-ний өдөр