PVD-ийн бүтэн нэр нь физик уурын хуримтлал бөгөөд энэ нь англи хэлний товчлол (физик уурын хуримтлал) юм.Одоогийн байдлаар PVD нь ууршуулах бүрэх, магнетрон цацах бүрэх, олон нуман ионы бүрэх, химийн уурын хуримтлал болон бусад хэлбэрийг агуулдаг.Ерөнхийдөө PVD нь байгаль орчныг хамгаалах ногоон салбарт хамаардаг.Бусад үйлдвэрүүдтэй харьцуулахад хүний биед бага хохирол учруулдаг ч үгүй биш.Мэдээжийн хэрэг, үүнийг үр дүнтэй бууруулах эсвэл бүр бүрэн арилгах боломжтой.PVD магнетрон цацах вакуум бүрээсийн талаар RSM-ийн редакторын хуваалцсан мэдээллээр бид холбогдох мэргэжлийн мэдлэгийг илүү нарийвчлалтай ойлгож чадна.
PVD магнетрон цацагч вакуум бүрээсийн талаар дараах зүйлсийг анхаарна уу.
1. Цацраг: зарим бүрээс нь RF-ийн тэжээлийн хангамжийг ашиглах шаардлагатай.Хэрэв хүч өндөр байвал түүнийг хамгаалах шаардлагатай.Түүнчлэн Европын стандартын дагуу нэг өрөө бүрэх машины хаалганы хүрээг тойруулан төмөр утас хийж цацрагаас хамгаалдаг.
2. Металлын бохирдол: зарим бүрэх материал (хром, индий, хөнгөн цагаан гэх мэт) хүний биед хортой тул вакуум камерыг цэвэрлэх явцад тоосны бохирдолд онцгой анхаарах;
3. Дуу чимээний бохирдол: ялангуяа зарим том бүрэх төхөөрөмжийн хувьд механик вакуум насос нь маш их чимээ шуугиантай байдаг тул насосыг хананы гадна талд тусгаарлаж болно;
4. Гэрлийн бохирдол: ион бүрэх явцад хий нь ионжуулж, хүчтэй гэрэл ялгаруулдаг бөгөөд энэ нь ажиглалтын цонхоор удаан хугацаанд харахад тохиромжгүй;
PVD магнетрон цацагчийн ажлын ерөнхий температурыг 0~500 хооронд хянах боломжтой!
Шуудангийн цаг: 2022 оны 7-р сарын 08-ны өдөр