Зорилтот нь олон функцтэй бөгөөд олон салбарт өргөн хэрэглээтэй байдаг.Шинэ шүршигч төхөөрөмж нь байны эргэн тойронд аргоны иончлолыг хурдасгахын тулд электронуудыг эргүүлэхэд хүчирхэг соронзыг бараг ашигладаг бөгөөд энэ нь бай болон аргон ионуудын хооронд мөргөлдөх магадлалыг нэмэгдүүлдэг.
Шүрших хурдыг нэмэгдүүлнэ.Ерөнхийдөө тогтмол гүйдлийн шүрших нь металл бүрэх, харин RF холбоо цацах нь дамжуулагч бус керамик соронзон материалд ашиглагддаг.Үндсэн зарчим нь вакуум дахь зорилтот гадаргуу дээрх аргон (AR) ионуудыг цохихын тулд гялалзах ялгаралтыг ашиглах явдал бөгөөд плазм дахь катионууд нь цацарсан материал болж сөрөг электродын гадаргуу руу гүйх болно.Энэ нөлөөгөөр зорилтот материал нисч, субстрат дээр тогтож, хальс үүсгэнэ.
Ерөнхийдөө шүрших процессыг ашиглан хальс бүрэх хэд хэдэн онцлог шинж чанартай байдаг.
(1) Металл, хайлш эсвэл тусгаарлагчийг нимгэн хальсан өгөгдөл болгон хийж болно.
(2) Тохиромжтой нөхцөлд ижил найрлагатай хальсыг олон, эмх замбараагүй объектоос хийж болно.
(3) Зорилтот материал ба хийн молекулуудын холимог буюу нэгдлийг гадагшлуулах агаар мандалд хүчилтөрөгч эсвэл бусад идэвхтэй хий нэмснээр хийж болно.
(4) Зорилтот оролтын гүйдэл болон цацрах хугацааг хянах боломжтой бөгөөд өндөр нарийвчлалтай хальсны зузааныг авахад хялбар байдаг.
(5) Бусад киног бүтээхэд ашигтай.
(6) Цацсан тоосонцор нь таталцлын нөлөөнд бараг өртдөггүй бөгөөд зорилтот ба субстратыг чөлөөтэй зохион байгуулж болно.
Шуудангийн цаг: 2022 оны 5-р сарын 24-ний хооронд